產品詳情
Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀
Filmetrics 自動光學膜厚測量儀介紹：
Filmetrics F54-XY-200 自動光學膜厚測量儀借助光譜反射系統，可以測量尺寸達200 x 200mm樣品的薄膜厚度電動XY工作臺自動移動到選定的測量點并提供厚度測量，達到每秒兩點。您可以從數十種預定義的極性，矩形或線性測量坐標圖案中選擇，也可以創建自己編輯的測量點數量。此桌面系統只需幾分鐘即可完成設置，任何具有基本計算機技能的人都可以使用。
Filmetrics 自動光學膜厚測量儀特點優勢：
自動化薄膜厚度繪圖系統，快速定位、實時獲得結果；
可測樣品膜層：基本上所有光滑的。非金屬的薄膜都可以測量；
測繪結果可用2D或3D呈現，方便用戶從不同的角度檢視；
測量原理：
當入射光穿透不同物質的界面時將會有部分的光被反射，由于光的波動性導致從多個界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長光譜產生震蕩的現象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。
工業應用：
參數：
波長范圍： | 190nm-1700nm | 光源： | 鎢鹵素燈、氘燈 |
測量nk值厚度要求*： | 50nm | 測量精度2： | 0.02nm |
準確度*：取較大者 | 1nm或0.2% | 穩定性3： | 0.05nm |
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